使用空气弹簧的常识

空气弹簧一般由马氏体材料和根据客户要求制造。尺寸挑选合理，应力合适，活塞杆行程尺寸8mm的余量。选用球形空气弹簧和铰链式波纹管，应加装导向支架，防止波纹管失去稳定性。选用其他方式，补偿管路过长时，还需提供导向支撑。补偿管路较长时要选用减小摩擦。

使用空气弹簧的常识

空气弹簧的密封结构设计大多选用构造，两侧，端面为光滑突面，两两侧用螺钉连接到可以密封严密。隔离外部环境对印压光刻机的影响，能够保护压印机不受低频激振力的激发。确定了低频单度减震系统的减震原理，确定了刚度及减震系统的共振频率，并与实际减震系统的实验结论相符合，表明印压光刻机低频减震设计合理可行。

使用空气弹簧的常识

空气弹簧可以同时承受多向负载，从而简化系统结构，具有极强的内阻。对于吸收突然冲击、高频振动和隔音有很大的帮助，形状不限，各方向刚度可根据设计要求随意挑选，虽然弹性模具小的边缘尺寸和曲囊直径，但可以获得较大的弹性变形，容易达到理想的非线性特点。