SSX600系列步进扫描投影光刻机气动隔振系统性

SSX600系列步进扫描投影光刻机气动隔振系统塑胶试片工艺性能试验(1)拉伸实验气动隔振系统的抗拉强度的时效性转变那样,步进扫描投影光刻机气动隔振系统气囊的抗拉强度伴随着使用寿命问的问题的增加大概说明降低的趋势,应用16年以后也发现了，一些试样的抗拉强度下降50百分比上下。那样,抗拉强度减少50百分比之上则可认定是显着的降低。在气襄工艺性能方面，针对超过本试验阶段的应用，要进行慎重考虑。

详细的分析每个老化趋向时，确定了以下老化特点先,在中间，①面、②面垂直及水平方向强度都有降低,①面降低水准略大些。步进扫描投影光刻机气动隔振系统主要原因可以称作横着摇晃产生的影响，与此同时也可以称之为紫外线的危害。进而结论得知，气囊中间是很容易变形消化振动的主要一部分。

其次,相关上端,其水不角度的抗拉强度使用4年里，虽然也有一-定初期老化,但应用13年~16年以后，①面、②面抗拉强度降低量均比较小。与其相符合，相关.上端垂直方向,其①面、②面抗拉强度的下降量与中间一样,变形比较大。进而结论得知，上端在设备运转中,①面、②面二者都为垂直方向的震动影响很大,而水平方向的震动危害则比较小。相关下边,①面抗拉强度的下降,在垂直和水平方向均比较大，而②面无论哪个地方均比较小。那可确定根本原因是下边横着摇晃所导致的疲倦要素大因此，步进扫描投影光刻机气动隔振系统气囊下边常采用将零配件迅速地固定在牵引电机上。由此可以确定,气囊下边随着牵引电机与机器的相对震动偏移承受了激烈的运动。牵引电机与机械设备间的比较大震动一般是机器的纵向及横着(横着摇晃)运动，机器的纵向受设备及牵引电机框架的弯曲刚度所管束，其运动获得限制。另一方面，气动隔振系统由于运行时曲线图中的摇晃等因素,机械设备方位运动很容易扩大因此可以确定，下边②面震动负荷小又下边①面震动负荷则比较大。