硅片边缘曝光设备气动隔振器的日常维护

硅片边缘曝光设备气动隔振器空气滤清是用以除掉甲醛的，空气滤清务必准时除掉。下面给朋友们解读几类过滤装置的除掉方法，维持过滤装置的除掉。

一：气动隔振器加温过滤装置的除掉方法

加温过滤装置一般每个月务必除掉1~2次。清理时，目前的滤网务必拆下来，用吸尘器或纯棉毛巾将灰尘清理干净整洁；倘若表明滤网能够水清理，能够用冷水除掉，接着脱干或用吹风机烘干处理后再倒入空气净化机等，就能正常的运用。

二：HEPA滤网的除掉方法

硅片边缘曝光设备气动隔振器滤网不能用水除掉，除非是有特别要求。因为中国空气污染较为严重，空气质量指数较差，HEPA过滤装置的很长应用时限一般仅有3个月甚至更短，因此务必更经常地拆卸HEPA过滤装置。但是用除尘设备除掉还可以在一定程度上提升其运用时限，但倘若一般白的HEPA滤网表层趋于变黑，就意味着务必拆卸。为了方便确保空气滤清的性能和你的身心健康，请立刻拆卸。

三：石英砂过滤装置的除掉方法

石英砂过滤设备也需要经常拆卸，防止吸附饱和，每六个月更换一次；还可以按时拆下来，放入太阳底下，维持净化处理处理预期效果，提高运用时限。

硅片边缘曝光设备气动隔振器过滤装置不适合运用好长时间，一段时间后应拆卸。周期一般为三个月。

空气滤清是用以除掉甲醛的，空气滤清务必准时除掉。下面给朋友们解读几类过滤装置的除掉方法，维持过滤装置的除掉。